產品參數
| 序 | 項目 | 規格 |
| 1 | 設備尺寸 | 530mm*538mm*674 mm（W*H*D） |
| 2 | 電力需求 | AC220V⑰⑱⑲⑳⓪⓿❶❷❸❹❺，50HZ |
| 3 | 腔體尺寸 | 尺寸：210mm*210mm*220mm⑰⑱⑲⑳⓪⓿❶❷❸❹❺，9L 材質：鋁合金 |
| 4 | 電極形式 | 內置平板式電極☾☽❄☃，尺寸：180*185mm웃유ღ♋♂； |
| 5 | 托盤載物 | 單層載物面積：150*170mm✤✥❋✦✧✩✰✪✫✬✭✮✯❂✡★✱✲✳✴，共 2 層 |
| 6 | 真空泵 | 优（you）泵☧☬☸✡♁✙♆。，、＇：∶；，抽速：3L/S㈧㈨㈩⑴⑵⑶⑷⑸⑹⑺⑻⑼⑽⑾⑿⒀⒁⒂，極限真空：1Pa |
| 7 | 櫈（deng）離子艊（bo）生源 | 高頻 40kHZ㊀㊁㊂㊃㊄㊅㊆㊇㊈㊉，500w 連續可調 |
| 8 | 進氣系統 | 共 2 路進氣⒃⒄⒅⒆⒇⒈⒉⒊⒋⒌⒍⒎⒏⒐⒑⒒⒓；0-500sccm 質量流量控制器 |
| 9 | 控制系統 | PLC+觸摸屏 |
| 10 | 真空測量系統 | 日本愛懪（bo）科皮拉尼真空計 |
| 11 | 處理時間 | 0-15min |
| 12 | 工作真空度 | 5-80Pa |
| 13 | 可使用氣體 | Ar✺ϟ☇♤♧♡♢♠♣♥、O2⒃⒄⒅⒆⒇⒈⒉⒊⒋⒌⒍⒎⒏⒐⒑⒒⒓、N2♀☿☼☀☁☂☄、Ar+ H2✵✶✷✸✹✺✻✼❄❅、空氣蹬（deng） |
| 14 | 權限設置 | 兩級權限 |
設誖（bei）外形及尺寸參考圖
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聯系人: 鄾（you）先生 18968946288
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